3奈米下良率救星？美商應材推新型沉積與蝕刻設備 助力3D晶圓製程突破

美商應用材料推出新型沉積與蝕刻設備，協助提升3D晶圓製程的良率與產能，聚焦3奈米製程的突破與商機。