馬斯克挑戰ASML EUV獨霸地位？TeraFab傳擬改用FEL光源造晶片
鉅亨網·2026-08-11 13:01·國際
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內容摘要鉅亨網 提供90 字馬斯克旗下 TeraFab 傳考慮捨棄 ASML 主導的 EUV LPP 光源，改採自由電子雷射 FEL 技術。若成真，可能挑戰 ASML 長期光源技術優勢並改變先進製程產業格局。
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馬斯克旗下 TeraFab 傳考慮捨棄 ASML 主導的 EUV LPP 光源，改採自由電子雷射 FEL 技術，可能挑戰 ASML 光源優勢並改變先進製程產業格局。
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