中國傳開始生產DUV曝光機 要擺脫設備卡脖子？
鉅亨網·2026-07-28 09:27·國際
#中國#DUV#曝光機#國產#TOP#ASML
內容摘要鉅亨網 提供85 字據美國媒體《The Information》周一（27 日）報導，中國已開始生產自研浸潤式深紫外光曝光機（DUV），這種晶片製造關鍵設備長期由荷蘭供應商 ASML 主導。
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中國開始生產自研浸潤式DUV曝光機，意圖打破ASML主導的設備壟斷。
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